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工業控制電源行業“制造業單項冠軍”占有率專項報告(2024版) 2024-11-05
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1、熱場工藝控制電源行業基本現狀:電加熱具有加熱均勻、熱效率高和容易控制等優點,是制造業及冶金工業中重要的加工方式。制造過程中的溫度本身及其空間分布與時間序列,對各類物理及化學反應的發生具有重要影響,需要通過電源進行工藝控制。20世紀50年代,可控功率半導體被發明,此后由功率半導體器件對電能進行轉換與控制的電力電子技術升級,促進了熱場工藝控制電源的發展。nn熱場工藝控制電源通過嵌入式軟件、芯片、電子元器件等組成控制單元,結合IGBT或晶閘管等功率器件,利用電力電子技術,實現對負載的電壓、電流、頻率、交直流性質等電源參數進行控制與變換,進而實現對熱場工藝的高精度、高效控制,是高精度自動化加熱設備的主要裝置。電加熱工藝主要包括電阻加熱、感應加熱、電子束加熱等。nn電阻加熱是最為成熟的電熱轉換方式,利用通過物體的電阻發熱而達到加熱效果,屬于直接加熱。電阻加熱的功率與電流大小、加熱體的電阻等直接相關,可由交流調壓電源、直流晶體生長電源進行控制。電阻加熱具有直接、高效率、高精度的特點,目前的控制精度可達到萬分之一;但電阻加熱的最高溫度受發熱材料限制,在最高溫度超過2,800℃的工藝中的應用受到一定限制。nn感應加熱系利用交流磁場在被加熱物體內部產生渦流來加熱物體,是一種非接觸的加熱方式,具有加熱速度更快、熱場環境適應性更好等優點,并且可通過改變頻率與感應線圈形狀來改變加熱深度與加熱位置,更適用于加熱最高溫度要求更高、發熱體所處外部環境更為復雜的工藝。感應加熱的效果與交流功率及頻率相關,可由交流中高頻感應電源進行控制。感應加熱作為一種間接加熱方式,控制難度相對較高,目前可通過控制電源側的直流功率間接控制到萬分之一。此外,感應加熱時將產生較強磁場,可對加熱物體進行電磁攪拌,但也會對磁場敏感工藝產生干擾。nn傳統的熱場工藝控制電源主要用于電爐、電加熱器等,對精度控制的要求較低。隨著光伏、稀土材料、電子材料、耐熱材料等新興行業的發展,為滿足材料加工需求,需應用晶體生長、氣相沉積、粉末燒結、真空熔煉、熱處理等新工藝,該等工藝除要求更高的熱場控制精度外,還極大豐富了熱場控制的內涵。新行業、新工藝的發展為高端熱場工藝控制電源提供了發展契機,推動熱場工藝控制電源逐步向高精度、數字化、智能化方向發展。nn2、等離子體工藝控制電源行業基本現狀:等離子體是氣體電離后產生的由相等的正負電子組成的氣體

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